光电设备低频微振动控制系统介绍

1.行业需求分析

随着我国城市化进程，市内交通造成的环境振动已经成为影响大型实验室，光学仪器设备、居民生活舒适性的重要因素。地铁、轻轨、机动车辆通过轨道、路面将其产生的振动向周围环境传递。

    振动和噪声是城市轨道交通影响环境的主要方面，随着近几年城市轨道的发展，人们对此问题越来越重视，减少轨道交通的振动，降低噪声，是提高沿线居民生活质量，轨道交通可持续发展的关键之一。当列车通过时，如果轨面和车轮踏面绝对平顺，则轮轨直接就不会产生振动，噪声也就处于极微弱状态。轨道面和车轮踏面存在各种类型的不平顺，列车通过时轨道结构和车体都会产生振动。

当列车以一定速度通过轨道时，车辆和轨道都要在空间各个方向产生振动，引起振动强弱的原因有：轨道几何形状的静动不平顺；钢轨顶面波浪形磨损、钢轨接缝；列车速度大小，车轮踏面擦伤、车轮踏面不圆顺等等，由于车辆和轨道这两个系统振动是一种耦合关系，这种耦合振动最终要通过轨道结构传递形成输出。对于高架结构，通过桥梁墩台传递到地面。对于地铁，通过隧道周围的土介质传递到地表。轨道结构作为振源，也是振动传播途径中一个重要环节，直接影响最终的振动效应。从振源、传递因素的角度研究轨道交通减振性能，是最优的解决方案。

城市轨道交通运行路线不可避免地会穿过安装有精密仪器的厂房、医院、实验室等对振动特别敏感的区 域。当振动达到一定强度时,就会影响这些区域中精密仪器的正常使用。

汽车行驶在不平整路面上，车轮将对路面产生附加动荷载,这种动荷载将加速公路路面平整度的衰减，而路面平整度的变差又将使得车轮对路面产生的附加动荷载增加。因此，公路路面不平整度被认为是影响车辆振动响应的主要因素之一。通常假定路面不平整是平稳的、各态历经零均值的Gaus随机过程,并用功率谱来描述路面的统计特性。关于路面谱,国内外均作过大量的测试和研究，如国家标准GB7031-86《车辆振动输入路面平度表示方法》、国际标准化协会制定的150 SCIPWG4等。

随着我国经济实力的不断增强，科研投入的不断增加，对光学设备、精密仪器、金属金相等仪器如：光刻机、扫描电镜、MEMS、能谱仪等的使用领域越来越广泛，这些精密仪器对使用环境要求极高，其环境振动幅值要求在um，0.1 um这个量级，这些仪器设备一旦被放置在离城市交通比较近的实验室中，对精密仪器、设备防微振动设计需要迫切解决。

                         光刻机      JEM-f200场发射透射电子显微镜

                             MEMS振荡器能谱仪

二、典型方案

首先需要进行前期测试，然后开始设计系统，我们可以从设置隔振沟、增加基础质量、低频微振动控制系统这几个方面入手，最后进行项目验收测试。

1、前期测试：

2、系统设计：

主要措施：1）设置隔振沟；

          2）增加基础质量；

          3）低频微振动控制系统；

地面载荷谱

                                            振动传递关系

3、典型案例-中电54所微波实验室

三．产品选型 

以上参数为标准型，可以根据客户要求进行定制设计。